发明名称 Einrichtung zur Vermessung und Analyse von elektrischen Signalen eines integrierten Schaltungsbausteins
摘要
申请公布号 DE59915088(D1) 申请公布日期 2009.11.05
申请号 DE19995015088 申请日期 1999.06.11
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHMID, WILHELM;DOERRHOEFER, CARSTEN
分类号 G01R31/317;G01R31/28;G01R31/316;G01R31/3185;G01R31/319;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/317
代理机构 代理人
主权项
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