发明名称 |
Einrichtung zur Vermessung und Analyse von elektrischen Signalen eines integrierten Schaltungsbausteins |
摘要 |
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申请公布号 |
DE59915088(D1) |
申请公布日期 |
2009.11.05 |
申请号 |
DE19995015088 |
申请日期 |
1999.06.11 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
SCHMID, WILHELM;DOERRHOEFER, CARSTEN |
分类号 |
G01R31/317;G01R31/28;G01R31/316;G01R31/3185;G01R31/319;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
G01R31/317 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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