| 发明名称 |
SPIN-ON GRADED K SILICON ANTIREFLECTIVE COATING |
| 摘要 |
Graded absorption silicon based antireflective coating compositions are described.
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| 申请公布号 |
US2009274974(A1) |
申请公布日期 |
2009.11.05 |
| 申请号 |
US20080112221 |
申请日期 |
2008.04.30 |
| 申请人 |
ABDALLAH DAVID;DAMMEL RALPH R |
发明人 |
ABDALLAH DAVID;DAMMEL RALPH R. |
| 分类号 |
G03F7/004;B05D5/06;G03F9/00 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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