发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Metall-Schichten
摘要
申请公布号 DE60329344(D1) 申请公布日期 2009.11.05
申请号 DE20036029344 申请日期 2003.03.04
申请人 CANON ANELVA CORP. 发明人 SAKAMOTO, HITOSHI;YAHATA, NAOKI;NISHIMORI, TOSHIHIKO;OOBA, YOSHIYUKI;TONEGAWA, HIROSHI;KOSHIRO, IKUMASA;OGURA, YUZURU
分类号 C23C16/08;C23C16/14;C23C16/44;C23C16/448;H01J37/32;H01L21/285;H01L21/44;H01L21/768 主分类号 C23C16/08
代理机构 代理人
主权项
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