喷头电极

摘要

一种喷头电极包括在其外缘的内和外台阶，该外台阶与卡环配合，该卡盘以机械方式将该电极连接到垫板。

主权项

1.一种用作等离子处理室中上部电极的喷头电极，包括：圆板，在其下表面具有等离子暴露表面，在其上表面具有安装表面，下表面包括在该板外缘的内和外台阶；该内台阶直径小于该外台阶，以及该外台阶位于该内台阶和该安装表面之间，该外台阶构造为与卡环向内延伸的凸缘配合，以及该内台阶构造为与外部电极的一部分配合，该外部电极围绕该喷头电极从而该外部电极的内锥形表面从该等离子暴露表面的外缘延伸；该安装表面包括多个定位销凹部，其配置为容纳定位销，该定位销布置为匹配垫板中定位销孔的样式，该板通过该卡环把持靠着该垫板；该板包括工艺气体出口，其布置为与该垫板中的气体供应孔匹配的样式，这些气体出口与在该上、下表面之间延伸的气体通道连通。