发明名称 硅基麦克风
摘要 本发明提供了一种硅基麦克风,其包括基底、背极板和与背极板相隔一定距离的振膜,振膜设有位于位置的振动主体部,其中,所述振膜还设有自振动主体部向远离该振动主体部延伸的若干支撑臂和连接支撑臂与振动主体部的弧形连接部。本发明的硅基麦克风灵敏度高且振膜的强度大。
申请公布号 CN101572849A 申请公布日期 2009.11.04
申请号 CN200910106509.3 申请日期 2009.04.03
申请人 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声声学科技(常州)有限公司 发明人 储着明;葛舟;张睿
分类号 H04R19/01(2006.01)I;H04R19/04(2006.01)I 主分类号 H04R19/01(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 1、一种硅基麦克风,其包括基底、背极板和与背极板相隔一定距离的振膜,振膜设有位于中央位置的振动主体部,其特征在于:所述振膜还设有自振动主体部向远离该振动主体部延伸的若干支撑臂和连接相邻支撑臂与振动主体部的若干弧形连接部。
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