发明名称 |
真空泵 |
摘要 |
一种涡轮分子真空泵(54),其包括壳体(70)和转子,转子由轴承布置(64)支承以便相对壳体(70)转动。轴承布置(64)包括由弹性支承件(80)以径向方向和轴向方向支承的轴承(72、74、76、78),弹性支承件(80)包括由多个柔性构件(84)连接的内环形部(86)和外环形部(88),弹性支承件(80)具有处于50牛顿/毫米至500牛顿/毫米范围内的径向刚度。 |
申请公布号 |
CN100557248C |
申请公布日期 |
2009.11.04 |
申请号 |
CN200680019962.5 |
申请日期 |
2006.05.26 |
申请人 |
爱德华兹有限公司 |
发明人 |
B·D·布鲁斯特;C·-C·休 |
分类号 |
F04D19/04(2006.01)I;F04D17/16(2006.01)I;F04D29/04(2006.01)I;F04D29/66(2006.01)I |
主分类号 |
F04D19/04(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
曾祥夌;赵 辛 |
主权项 |
1.一种真空泵,其包括壳体和转子,所述转子由轴承布置支承以便相对所述壳体转动,所述轴承布置包括由弹性支承件以径向方向和轴向方向支承的轴承,所述弹性支承件包括由多个柔性构件连接的内环形部和外环形部,所述弹性支承件具有处于50牛顿/毫米至500牛顿/毫米范围内的径向刚度。 |
地址 |
英国西萨塞克斯郡 |