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发明名称
摘要
申请公布号 JP4357821(B2) 申请公布日期 2009.11.04
申请号 JP20020274763 申请日期 2002.09.20
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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