一种从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法

摘要

本发明提供了从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法。该方法是：首先利用微波激励含硅或含硫的工业废气放电产生常压微波等离子体射流，该常压微波等离子体射流经高频感应加热后与收集器的冷却罩接触作用后，使射流中含有的处于活性状态的硅离子、硅原子或硫离子、硫原子迅速失去活性，而形成微细硅粉或微细硫粉，同时工业废气被分解处理成无害气体。本发明可以完成对含硅或含硫的工业废气的分解分离处理，并且能够从工业有机废气中回收微细硅粉或微细硫粉。

主权项

1.一种从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法，其特征是一种利用常压微波等离子体射流从含硅或含硫的工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法，该方法是：首先利用频率为2.45GHz或0.915GHz的微波激励含硅或含硫的工业废气放电产生常压微波等离子体射流，该常压微波等离子体射流经频率为50kHz-30MHz高频感应加热后与收集器的冷却罩接触作用后，常压微波等离子体射流中含有的处于活性状态的硅离子、硅原子或硫离子、硫原子迅速失去活性，从而形成微细硅粉或微细硫粉，同时有机废气被分解处理成无害气体；所述含硫的工业废气是指含有二氧化硫或硫化氢的工业废气，所述含硅的工业废气是指含有三氯氢硅、四氯化硅的工业废气。