用于分析光束波面的方法、相位光栅和设备

摘要

本发明涉及用于对从源(S)到透镜(O₁)的焦点的光束(F)的波面进行分析的方法。该束(F)照射分析平面(P_D)上的且具有缺陷(D₁)的样品(LA)。平面(P_C)的衍射光栅(GR)通过聚焦系统(O₂，O₃，O₄)与分析平面(P_D)共轭。图像形成在距光栅平面(GR)距离(d)处的平面(P_S)中并由处理装置(UT)来分析。本发明通过从两个相位函数的复合得到相位函数来对该光栅(GR)进行编码，第一排除函数定义以锥形光束的形式透射所要分析的束的有用区域的啮合，而第二相位基础函数生成来自排除光栅的相邻网格的两个锥形光束之间的相位移相。

主权项

1.一种用于分析光学控制中的光束波面的方法，根据：a)由二维光栅(GR)引入的相位函数，所述二维光栅基本定位于与所要分析的所述光束垂直的平面(PC)中并与所述波面的分析平面(PD)在光学上共轭，所述二维光栅使所述束衍射出多个不同的出射束，b)强度函数，以及c)与所分析的所述波面的坡度有关的图像失真，该图像由多个出射束的干涉形成并在位于距所述光栅平面(PC)的所选距离处的平面(PS)中生成和观看，其特征在于，所述强度函数在所述光栅的整个表面上是均匀的，所述步骤a)包括以下各项的复合：a1)第一相位函数，所谓的排除函数FPE，所述第一相位函数定义了有用区域(ZU)和排除区域(ZE)的啮合，所述有用区域在所分析的所述束的所述光的透射或反射中未引入相位空间变化，所述排除区域引入了快速相位变化，以及a2)第二相位函数FP，所谓的基础相位函数，所述第二相位函数在两个相邻的锥形光束之间引入了相位偏移PHI，所述相位偏移对应于在矩形和六边形的啮合中所选的啮合。