微型高精度三坐标测量机误差检定系统

摘要

微型高精度三坐标测量机误差检定系统，其特征是系统构成包括X/Y轴向目标靶镜、光路转折目标靶镜、Z轴向目标靶镜、光轴与X轴向平行的纵边激光干涉仪、光轴与Y轴向平行的横边激光干涉仪。本发明系统通过高精度多项几何误差的同步检定，对于三坐标测量机的几何误差可以实现纳米级精度的检定，其工作效率高，操作方式简单。

主权项

1、微型高精度三坐标测量机误差检定系统，其特征是系统构成包括：一X/Y轴向目标靶镜(11)，具有镜面与Y轴向平行的纵边平面反射镜(6)、镜面与X轴向平行的横边平面反射镜(7)，以及用于支承所述纵边平面反射镜(6)和横边平面反射镜(7)的X/Y轴向目标靶镜座(19)，所述X/Y轴向目标靶镜座(19)可放置在三坐标测量机的共平面双轴定位平台(5)上；一光路转折目标靶镜(17)，具有镜面与水平面呈45°角的光路转折镜(13)和用于支承所述光路转折镜(13)的光路转折目标靶镜座(12)，所述光路转折目标靶镜座(12)可放置在三坐标测量机的共平面双轴定位平台(5)上；一Z轴向目标靶镜(18)，呈悬置设置Z轴轴向驱动系统(10)的轴底端面上，是在Z轴向目标靶镜座(25)的立面上，分别设置镜面与Y轴向平行的Z轴轴向驱动系统纵边平面反射镜(15)和镜面与X轴向平行的Z轴轴向驱动系统横边平面反射镜(16)；在Z轴向目标靶镜座(25)的底部平面上设置Z轴轴向驱动系统水平面反射镜(14)；一光轴与X轴向平行的纵边激光干涉仪(1)，所述纵边激光干涉仪(1)通过纵边激光头姿态调节架(2)设置在共平面双轴定位平台的基座(8)中呈Y轴向的纵边上，所述纵边激光干涉仪(1)在所述纵边激光头姿态调节架(2)上的Z轴向高度可调；一光轴与Y轴向平行的横边激光干涉仪(3)，所述横边激光干涉仪(3)通过横边激光头姿态调节架(4)设置在共平面双轴定位平台的基座(8)中呈X轴向的横边上，所述横边激光干涉仪(3)在所述横边激光头姿态调节架(4)上的Z轴向高度可调。