用于校准反射镜的设备和方法

摘要

一种用于测量衍射光调制器的镜的位置并执行位置补偿的设备，以及一种控制该设备的方法。位置测量单元测量所述衍射光调制器的镜的位置。控制单元通过估算由所述位置测量单元计算的位置值从参考位置计算位移值，计算补偿值并输出补偿控制信号。补偿和激励单元响应于所述补偿控制信号执行对驱动电压的补偿，并使用所补偿的驱动电压激励所述衍射光调制器的镜。

主权项

1.一种用于测量在显示系统中使用的衍射光调制器的镜的位置并执行补偿的设备，所述显示系统处理从所述衍射光调制器衍射的光用于随后的显示，包括：位置测量单元，用于基于在所述显示系统之前的一位置处估算从所述衍射光调制器发射的光、通过测量所述镜相对于参考电极的电容来测量所述衍射光调制器的镜的位置；控制单元，用于通过估算由所述位置测量单元计算的位置值来计算所述镜相对于参考位置的位移的值，基于所述位移值计算补偿值并输出补偿控制信号；以及补偿和激励单元，用于响应于从所述控制单元输入的补偿控制信号来执行对驱动电压的补偿，并使用经补偿的驱动电压来激励所述衍射光调制器的镜。