发明名称 |
氮化镓晶体以及其制备方法 |
摘要 |
提供一种GaN单晶,其直径至少约2.75毫米,位错密度低于约10<sup>4</sup>cm<sup>-1</sup>,并基本不含倾斜晶界。还公开了一种形成GaN单晶的方法,该方法包括在一个腔室中提供成核中心、GaN源材料和GaN溶剂。将该腔室加压。在该腔室中产生第一和第二温度分布,以使在腔室成核区域中的溶剂过饱和。在腔室中的第一和第二温度分布具有不同的温度梯度。 |
申请公布号 |
CN101573479A |
申请公布日期 |
2009.11.04 |
申请号 |
CN200780039788.5 |
申请日期 |
2007.10.25 |
申请人 |
迈图高新材料公司 |
发明人 |
马克·飞利浦·德艾芙琳;东-斯尔·帕克;史蒂芬·弗兰西斯·勒伯夫;拉里·波顿·罗兰;克里斯蒂·简·纳拉恩;慧聪·洪;彼得·麦卡·山特维克 |
分类号 |
C30B7/10(2006.01)I;C30B9/12(2006.01)I;C30B29/40(2006.01)I |
主分类号 |
C30B7/10(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
1.一种GaN单晶,其具有厚度w和垂直于厚度w的定义晶面的二维x和y,其中该GaN单晶在x维或y维至少之一上至少为约2.75毫米,位错密度低于约104cm-2,并基本不含倾斜晶界,其中该单晶为晶锭。 |
地址 |
美国康涅狄格 |