发明名称 氮化镓晶体以及其制备方法
摘要 提供一种GaN单晶,其直径至少约2.75毫米,位错密度低于约10<sup>4</sup>cm<sup>-1</sup>,并基本不含倾斜晶界。还公开了一种形成GaN单晶的方法,该方法包括在一个腔室中提供成核中心、GaN源材料和GaN溶剂。将该腔室加压。在该腔室中产生第一和第二温度分布,以使在腔室成核区域中的溶剂过饱和。在腔室中的第一和第二温度分布具有不同的温度梯度。
申请公布号 CN101573479A 申请公布日期 2009.11.04
申请号 CN200780039788.5 申请日期 2007.10.25
申请人 迈图高新材料公司 发明人 马克·飞利浦·德艾芙琳;东-斯尔·帕克;史蒂芬·弗兰西斯·勒伯夫;拉里·波顿·罗兰;克里斯蒂·简·纳拉恩;慧聪·洪;彼得·麦卡·山特维克
分类号 C30B7/10(2006.01)I;C30B9/12(2006.01)I;C30B29/40(2006.01)I 主分类号 C30B7/10(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 1.一种GaN单晶,其具有厚度w和垂直于厚度w的定义晶面的二维x和y,其中该GaN单晶在x维或y维至少之一上至少为约2.75毫米,位错密度低于约104cm-2,并基本不含倾斜晶界,其中该单晶为晶锭。
地址 美国康涅狄格