发明名称 气体传感器
摘要 气体传感器(1),其具有气体敏感层(7),所述气体敏感层(7)具有其中输出功取决于可与表面区(9)接触的目标气体的浓度的表面区(9)。通过空气隙(8)将表面区(9)与电位型传感器(27)电容耦合。气体敏感层(7)的表面区(9)被对于目标气体惰性的、电绝缘的涂层(18)覆盖,该涂层(18)粘附性地与气体敏感层(7)结合。所述涂层(18)这样构造,使得其对于目标气体和与之不同的、可吸附于表面区(9)上的另外的气体是渗透性的。涂层(18)对于目标气体和另外的气体具有不同的扩散常数。所述扩散常数这样彼此协调,使得如果目标气体的浓度在另外的气体的存在下超出预定的浓度阈值,则气体传感器(1)对于目标气体的测量敏感性增加。
申请公布号 CN101571501A 申请公布日期 2009.11.04
申请号 CN200910128097.3 申请日期 2009.03.25
申请人 迈克纳斯公司 发明人 H-P·弗瑞里奇思;C·维尔博特兹;C·赛恩弗特
分类号 G01N27/00(2006.01)I 主分类号 G01N27/00(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 邓 毅
主权项 1.具有至少一个气体敏感层(7)的气体传感器(1),所述气体敏感层(7)具有其中输出功取决于可与表面区(9)接触的目标气体浓度的至少一个表面区(9),并且所述气体传感器(1)还具有至少一个通过空气隙(8)与表面区(9)电容耦合的电位型传感器(27),其特征在于,气体敏感层(7)的表面区(9)被对于目标气体惰性的、电绝缘的涂层(18)覆盖,且该涂层(18)粘附性地与气体敏感层(7)结合并这样构造,使得其对于目标气体和与该目标气体不同的、可吸附于表面区(9)上的另外的气体是渗透性的,涂层(18)对于目标气体和所述另外的气体具有不同的扩散常数,并且这样彼此协调扩散常数,使得如果目标气体的浓度在所述另外的气体的存在下超出预定的浓度阈值(19),则气体传感器(1)对于目标气体的测量敏感性增加。
地址 德国弗赖堡