发明名称 |
MIM电容器 |
摘要 |
本发明关注一种形成金属-绝缘体-金属电容器的方法,该电容器具有由电介质层隔开的顶板和底板,顶板和底板之一具有一种形状,该形状包括延伸到顶板和底板中另一个的对应空腔中的至少一个突起,该方法包括在基面上生长一个或多个纳米纤维的步骤。 |
申请公布号 |
CN101573772A |
申请公布日期 |
2009.11.04 |
申请号 |
CN200780037157.X |
申请日期 |
2007.10.01 |
申请人 |
NXP股份有限公司 |
发明人 |
亚历克西·法尔西;玛瑞莲·托马斯;华金·托里斯;索纳里斯·春;洛朗-乔治-戈塞 |
分类号 |
H01G4/005(2006.01)I;H01G4/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01G4/005(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 |
代理人 |
陈 源;张天舒 |
主权项 |
1.一种形成金属-绝缘体-金属电容器的方法,该电容器具有由电介质层(206,226)隔开的顶板(204,228)和底板(202,222),所述顶板和所述底板之一具有包括至少一个突起的形状,所述至少一个突起延伸到所述顶板和所述底板中另一个的对应空腔中,该方法包括步骤:在基面(208)上生长至少一个纳米纤维(210);以及形成所述顶板和所述底板之一,使得所述至少一个突起的直径由所述至少一个纳米纤维的直径来确定。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |