发明名称 |
对象物的物理量测定方法及控制方法 |
摘要 |
本发明涉及一种光传感技术,其用于利用布里渊散射现象,对存在于微细构造物上或微细构造物中的对象物的物理量进行测定及控制。在该测定方法中,在微型化学芯片或IC芯片等元件上或元件中一维至三维地设置光波导路,基于该光波导路中产生的布里渊散射光的特性变化,测定对象物的物理量。 |
申请公布号 |
CN101573593A |
申请公布日期 |
2009.11.04 |
申请号 |
CN200780048805.1 |
申请日期 |
2007.12.19 |
申请人 |
住友电气工业株式会社 |
发明人 |
林哲也;屉冈英资;山本义典;片山诚;蟹江智彦;石川真二;市川经 |
分类号 |
G01D5/353(2006.01)I;G01D21/00(2006.01)I;G01F1/66(2006.01)I;G01K11/12(2006.01)I;G01L11/02(2006.01)I;G01N21/00(2006.01)I;G01P5/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01D5/353(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 |
代理人 |
何立波;张天舒 |
主权项 |
1.一种对象物的物理量测定方法,其用于测定存在于元件上或者元件中的对象物的物理量,在该物理量测定方法中,准备光波导路,其一维至三维地配置在所述元件上或者元件中,然后,基于由所述光波导路中产生的布里渊散射引起的在所述光波导路中传输的光的特性变化,测定所述对象物的物理量。 |
地址 |
日本大阪府 |