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发明名称 TILTABLE Z-AXIS PLATFORM BASED ON UNI-DIRECTIONAL TILT PLATFORM
摘要
申请公布号 EP1076500(B1) 申请公布日期 2009.11.04
申请号 EP19990918439 申请日期 1999.04.21
申请人 GENMARK AUTOMATION, INC. 发明人 GENOV, GENCO DI
分类号 B25J11/00;A47F5/12;B23Q1/03;B23Q1/48;B23Q1/52;B23Q1/56;B25J9/00;H01L21/68 主分类号 B25J11/00
代理机构 代理人
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