弹性表面波装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种可靠性出色的弹性表面波装置及其制造方法。所述弹性表面波装置具有：传输弹性表面波的压电基板(1)、形成在压电基板(1)的第一主面上的IDT(2)、由光硬化性材料形成且通过覆盖IDT(2)的形成区域而与第一主面一起形成中空的收容空间(7)的保护罩(6)，在保护罩(6)的下端的区域具有含有产酸材料的产酸部。进而还具有形成在上述第一主面上并按照与IDT(2)连接的同时在保护罩(6)的外侧具有端部的方式从保护罩(6)的内侧向外侧引出的连接线(3)、和由绝缘材料形成且至少介于保护罩(6)的产酸部和连接线(3)之间而形成的接合膜(8)。

主权项

1.一种弹性表面波装置，其具有：压电基板，其传输弹性表面波；IDT，其形成在所述压电基板的第一主面上，且至少具备一个在和所述弹性表面波的传输方向正交的方向上具有长度方向的多个电极指构成的梳齿状电极；保护罩，其由光硬化性材料形成，通过覆盖所述IDT的形成区域而与所述第一主面一起形成中空的收容空间，在所述保护罩的下端的区域具有含有产酸材料的产酸部；连接线，其形成在所述第一主面上，按照与所述IDT连接并且在所述保护罩的外侧具有端部的方式从所述收容空间向隔着所述保护罩的所述收容空间的外侧引出；和接合膜，其由绝缘材料形成，至少介于所述保护罩的所述产酸部和所述连接线之间而形成。