| 发明名称 | 光学检测缺陷后的路径规划方法 | ||
| 摘要 | 一种光学缺陷检测后的路径规划方法，包括下列步骤(1)提供一受检物；(2)将该受检物置于一光学检测机台上；(3)以该光学检测机台扫描该受检物；(4)在该受检物上检测出数个缺陷；(5)提供一数值运算模型，得到一条连接该一个以上的缺陷位置的一路径。 | ||
| 申请公布号 | CN101571493A | 申请公布日期 | 2009.11.04 |
| 申请号 | CN200810094668.1 | 申请日期 | 2008.04.29 |
| 申请人 | 台达电子工业股份有限公司 | 发明人 | 陈诗涌;沈家麟 |
| 分类号 | G01N21/88(2006.01)I;G06F17/50(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/88(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙 洪;霍育栋 |
| 主权项 | 1.一种光学缺陷检测后的路径规划方法，包括下列步骤：(1)提供一受检物；(2)将所述受检物置于一光学检测机台上；(3)以所述光学检测机台扫描所述受检物；(4)在所述受检物上检测出一个以上的缺陷；以及(5)提供一数值运算模型，得到一条连接所述一个以上的缺陷位置的一路径。 | ||
| 地址 | 台湾省桃园县龟山乡山顶村兴邦路31之1号 | ||