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发明名称 Gas friction pump with an additional gas inlet
摘要
申请公布号 EP1249614(B1) 申请公布日期 2009.11.04
申请号 EP20020002738 申请日期 2002.02.07
申请人 PFEIFFER VACUUM GMBH 发明人 CONRAD, ARMIN
分类号 F04D19/04;F04D29/42;F04D29/54 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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