发明名称 DISPOSITIVO DE FILTRADO DE ONDAS ACUSTICAS DE VOLUMEN
摘要 Dispositivo de filtrado de ondas acústicas de volumen BAW, que comprende una pluralidad de filtros, con una pluralidad de resonadores, con frecuencias de resonancia diferentes integrados en un sustrato común, cuyo método de fabricación comprende: - depositar una estructura de aislamiento acústico y eléctrico (2, 3) sobre la superficie superior de un sustrato, - depositar una capa de un metal como electrodo inferior (4) y semilla para el crecimiento de la capa subsiguiente, - depositar secuencialmente una pluralidad de capas delgadas de material piezoeléctrico (5,6) sobre el electrodo inferior (4), situadas en las posiciones donde un resonador, con la frecuencia correspondiente al espesor de dichas capas, se quiera situar, y su posterior grabado, - eliminar todo el material usado como máscara en el grabado realizado, - depositar, sobre todos los resonadores, una capa metálica de espesor constante, que constituye el electrodo superior (7) de cada resonador de cada filtro.
申请公布号 ES2327890(A1) 申请公布日期 2009.11.04
申请号 ES20090000936 申请日期 2009.04.06
申请人 UNIVERSIDAD POLITECNICA DE MADRID 发明人 IBORRA GRAU ENRIQUE;CLEMENT LORENZO MARTA;OLIVARES ROZA JIMENA
分类号 H03H9/58 主分类号 H03H9/58
代理机构 代理人
主权项
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