发明名称 |
制备无机或无机/有机复合膜的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种在基底上形成无机或有机/无机混合层的方法,所述方法包括蒸发金属烷氧化物,冷凝所述金属烷氧化物在所述基底上形成层,以及使所述冷凝的金属烷氧化物层与水接触以固化所述层。 |
申请公布号 |
CN101573468A |
申请公布日期 |
2009.11.04 |
申请号 |
CN200780048826.3 |
申请日期 |
2007.12.28 |
申请人 |
3M创新有限公司 |
发明人 |
史蒂芬·P·马基;克里斯托弗·S·莱昂斯;艾伦·K·纳赫蒂加尔;克拉克·I·布莱特;马里亚·L·泽林斯基;朱迪思·M·因维埃;安德鲁·D·迪布内;马克·J·佩莱里特;托马斯·E·伍德;肯顿·D·巴德 |
分类号 |
C23C16/18(2006.01)I;C23C16/505(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;C23C16/56(2006.01)I;B05D3/04(2006.01)I;B05D3/10(2006.01)I;B05D3/14(2006.01)I;B05D7/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/18(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
郇春艳;樊卫民 |
主权项 |
1.一种在基底上形成无机或有机/无机混合层的方法,所述方法包括:蒸发金属烷氧化物;冷凝所述金属烷氧化物以在所述基底上形成层;以及使所述冷凝的金属烷氧化物层与水接触以固化所述层。 |
地址 |
美国明尼苏达州 |