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发明名称 SURFACE WAVE EXCITATION PLASMA GENERATOR AND SURFACE WAVE EXCITATION PLASMA PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100924725(B1) 申请公布日期 2009.11.04
申请号 KR20077013476 申请日期 2006.04.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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