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发明名称
Dual pulsed beam laser micromachining method
摘要
A method is described for laser scribing or dicing portions of a workpiece using multi-source laser systems. In one embodiment, a first laser melts portions of the workpiece prior to a second laser ablating the portions of the workpiece.
申请公布号
US7611966(B2)
申请公布日期
2009.11.03
申请号
US20050123675
申请日期
2005.05.05
申请人
INTEL CORPORATION
发明人
LI ERIC J.;VORONOV SERGEI L.;RUMER CHRISTOPHER L.
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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