| 发明名称 | 奈米碳管制造方法 | ||
| 摘要 | 一种奈米碳管制造方法，其包括步骤：采用X光深刻电铸模造(即Lithography Eletroforming Micro Molding，简称LIGA)制程形成一表面具有微孔结构之基底；采用化学气相沈积法于基底表面生长与其基本垂直之奈米碳管。所述之微孔孔径可为20~100奈米。本发明采用LIGA制程处理用于奈米碳管生长之基底，解决先前技术之奈米碳管之取向性低且均匀性差之问题。 | ||
| 申请公布号 | TWI316508 | 申请公布日期 | 2009.11.01 |
| 申请号 | TW093103446 | 申请日期 | 2004.02.13 |
| 申请人 | 鸿海精密工业股份有限公司 | 发明人 | 宋长志 |
| 分类号 | C01B31/04 | 主分类号 | C01B31/04 |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种奈米碳管制造方法，其包括步骤：采用X光深刻电铸模造制程形成一表面具有微孔结构之基底，该基底中微孔之孔径为20~100奈米；及，采用化学气相沈积法于基底之微孔中生长与基底基本垂直之奈米碳管。 | ||
| 地址 | 台北县土城市自由街2号 | ||