相转换记忆体的垂直侧壁有效接脚结构及其制造方法

摘要

本发明提供一种可程式化电阻记忆体，例如一相转换记忆体，其包含具有细长侧壁之有效接脚的记忆构件。侧壁有效接脚包含一可程式化电阻材质，例如一相转换材质。在本发明之一目的中，描述形成一记忆胞的方法，其包含形成一堆叠，此堆叠包含一第一电极、一绝缘层以及一第二电极。此第一电极具有一主表面，而此主表面具有一周缘；此绝缘层覆盖第一电极之主表面的一部份；此第二电极系与第一电极垂直分离以及覆盖绝缘层。位于绝缘层及第二电极的侧壁，系设置于第一电极的主表面，并与第一电极之主表面有一横向偏移。

主权项

一种记忆元件，包含：具有一主表面之一第一电极，该主表面具有一周缘；一第二电极，系与该第一电极垂直分离，并且具有一侧壁，该第二电极之该侧壁之至少一部份系位于该主表面上，而与该第一电极之该周缘有一横向偏移；一绝缘构件，系配置于该第一及第二电极之间，该绝缘构件覆盖该第一电极之该主表面之至少一部份，该绝缘构件具有一侧壁，该绝缘构件之该侧壁系位于该主表面上，而与该第一电极之该周缘具有一横向偏移；以及一记忆构件，包含一可程式化电阻材质，该记忆构件具有一侧壁部分，系沿着该绝缘构件之该侧壁延伸，并接触该第二电极之该侧壁，该记忆构件之该侧壁部份具有一底表面，该底表面系与该第一电极之该主表面接触。