振动式光均匀装置及其投影系统

摘要

本案为一种振动式光均匀装置，适用于投影系统，至少包含：微透镜阵列；以及振动系统，其系与微透镜阵列相连接，用以驱动微透镜阵列进行往复式振动，使穿透微透镜阵列之相位改变，俾消除光斑。

主权项

一种振动式光均匀装置，适用于一投影系统，至少包含：一微透镜阵列；以及一振动系统，其系与该微透镜阵列相连接，用以驱动该微透镜阵列进行一往复式振动，使穿透该微透镜阵列之相位改变，俾消除光斑。