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<p>Zur Herstellung einer mit einem transparenten, elektrisch leitfähigen Metalloxid (3) durch chemische Dampfabscheidung beschichteten Glasscheibe (1) als Ausgangsmaterial für ein photovoltaisches Modul wird eine chemische Dampfabscheidung des transparenten, elektrisch leitfähigen Metalloxid (3) auf der Glasscheibe (1) bei einer Beschichtungstemperatur durchgeführt, die höchstens 50°C unterhalb der Transformationstemperatur des Glases liegt.</p> |
