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发明名称 HALBLEITER STRAHLUNGSBILD-ERFASSUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE602004023179(D1) 申请公布日期 2009.10.29
申请号 DE200460023179T 申请日期 2004.02.10
申请人 CANON K.K. 发明人 WATANABE, MINORU;MORISHITA, MASAKAZU;MOCHIZUKI, CHIORI;ISHII, TAKAMASA;NOMURA, KEIICHI
分类号 G01T1/20;H01L27/146;G01T1/24;H01L27/12;H01L27/14;H01L29/786;H04N5/32;H04N5/365;H04N5/369;H04N5/374 主分类号 G01T1/20
代理机构 代理人
主权项
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