TFT阵列衬底及其制造方法、以及使用该衬底的显示装置

摘要

提供一种显示质量优良、生产率较高的显示装置。本发明的TFT阵列衬底在衬底(110)上具有栅电极(1)、栅极绝缘膜(3)、半导体层(23)和由透明导电膜(11)构成的源电极(11b)和漏电极(11c)、从漏电极(11c)延伸设置的像素电极(11a)。并且，在透明导电膜(11)上，形成具有到达源电极(11b)的源电极接触孔(27)的层间绝缘膜(8)和源极布线(22)。还具有通过源电极接触孔(27)与源电极(11b)连接的源极布线(22)。

主权项

1.一种TFT阵列衬底，具有：设置在衬底上的栅电极；形成在所述栅电极上的栅极绝缘膜；半导体层，形成在所述栅极绝缘膜上，配置在所述栅电极的对面；由形成在所述半导体层上的透明导电膜构成的源电极以及漏电极；像素电极，从所述漏电极延伸设置，由所述透明导电膜构成；层间绝缘膜，形成在所述像素电极、所述源电极以及所述漏电极上，具有到达所述源电极的接触孔；源极布线，形成在所述层间绝缘膜上，并且，通过所述接触孔与所述源电极连接。