发明名称 |
太阳能硅芯片检测机台和检测方法 |
摘要 |
本发明公开了一种太阳能硅芯片检测机台,用于逐片检测太阳能硅芯片,且该等受测硅芯片均具有彼此相反、且分别布设有电极的第一面及第二面,该检测机台包括基座,吸取入料装置组设于基座,并自第一面吸取受测硅芯片;承载检测装置组设于基座,承接来自吸取入料装置的受测硅芯片的第二面而沿一个径向搬移并检测受测硅芯片第一面特性;吸取分类装置组设于基座,并自第一面吸取来自承载检测装置的受测硅芯片;第二面检测装置组设于基座,对应吸取入料装置或吸取分类装置之一;处理装置用以接收来自承载检测装置及第二面检测装置的信息,并指令吸取分类装置。另外,本发明还公开了一种太阳能硅芯片检测方法。 |
申请公布号 |
CN101567405A |
申请公布日期 |
2009.10.28 |
申请号 |
CN200810043280.9 |
申请日期 |
2008.04.23 |
申请人 |
中茂电子(深圳)有限公司 |
发明人 |
林汉声 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 |
代理人 |
丁纪铁 |
主权项 |
1.一种太阳能硅芯片检测机台,用于逐片检测太阳能硅芯片,且该等受测硅芯片均具有彼此相反、且分别布设有电极的第一面及第二面,其特征是,该检测机台包括基座、吸取入料装置、承载检测装置、吸取分类装置、第二面检测装置和处理装置,其中:吸取入料装置组设于基座,并自第一面吸取受测硅芯片;承载检测装置组设于基座,承接来自吸取入料装置的受测硅芯片的第二面而沿一个径向搬移并检测受测硅芯片第一面特性;吸取分类装置组设于基座,并自第一面吸取来自承载检测装置的受测硅芯片;第二面检测装置组设于基座,对应吸取入料装置或吸取分类装置之一;处理装置用以接收来自承载检测装置及第二面检测装置的信息,并指令吸取分类装置。 |
地址 |
518054广东省深圳市南山区登良路南油天安工业村4号厂房8F |