发明名称 元件操纵器
摘要 一种用于元件操纵的操纵器。该操纵器优选包括支架、第一臂、第二臂和凸轮。该支架围绕旋转轴可旋转移位。第一臂和第二臂被可移动地耦合到支架上。每个臂还耦合到端部受动器和跟随器上。每个臂相对于支架是可移位的,用于将被耦合的端部受动器定位在第一外接圆和第二外接圆之间。端部受动器抓取元件并将该元件从第一位置传送到第二位置。凸轮限定一路径。跟随器与该路径啮合。该路径到轮廓被设置成用于在跟随器沿着凸轮的路径行进期间控制该臂的位移和该端部受动器的位置。本发明还公开了一种使用该操纵器的元件操纵方法。
申请公布号 CN101567306A 申请公布日期 2009.10.28
申请号 CN200910130097.7 申请日期 2009.04.17
申请人 半导体技术及器械私人有限公司 发明人 连顺才;巫美珠;廖伟鸿
分类号 H01L21/00(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人 徐金国;陈 红
主权项 1、一种操纵器,包括:可围绕旋转轴旋转移位的支架;可移动地耦合到该支架上的臂,该臂具有耦合到其上的端部受动器和跟随器,该臂相对于该支架是可移位的,用于在具有与该旋转轴一致的中心的第一外接圆和与该第一外接圆同心的第二外接圆之间定位端部受动器,该第二外接圆具有第一位置和与其相邻限定的第二位置,该端部受动器可操作用于抓取至少一个元件,以便将其在第一位置和第二位置之间传送;和限定一路径的凸轮,所述跟随器与该凸轮可啮合并可被该凸轮引导,以便在其通过支架围绕旋转轴进行移位期间沿着该路径行进,该路径的轮廓被设置为用于控制所述臂相对于该支架的位移,以由此在该跟随器沿该凸轮的路径行进期间在第一外接圆和第二外接圆之间确定该端部受动器的位置,至少一部分的路径的轮廓被设置成用于与位于该第一外接圆和该第二外接圆之间的至少一个障碍位置相对应,其中当该支架被旋转移位以便在该第一位置和该第二位置之间移位该端部受动器时,该跟随器沿着该至少一部分路径的行进将该端部受动器基本上定位在该至少一个障碍位置和该第一外接圆之间,用于避免与该至少一个障碍位置的碰撞。
地址 新加坡新加坡市