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发明名称 PEROXIDE ACTIVATED OXOMETALATE BASED FORMULATIONS FOR REMOVAL OF ETCH RESIDUE
摘要
申请公布号 EP2111445(A1) 申请公布日期 2009.10.28
申请号 EP20080724882 申请日期 2008.01.28
申请人 MALLINCKRODT BAKER, INC. 发明人 WESTWOOD, GLENN
分类号 C11D7/08;C11D7/14;C11D7/32;C11D11/00 主分类号 C11D7/08
代理机构 代理人
主权项
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