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发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR SEMICONDUCTING THIN FILM FORMATION ON PLURALITY OF SUBSTRATES
摘要
申请公布号 HU0700164(A2) 申请公布日期 2009.10.28
申请号 HU20070000164 申请日期 2007.02.19
申请人 ENERGOSOLAR S.A. 发明人 KRAFCSIK ISTVAN
分类号 H01L21/365 主分类号 H01L21/365
代理机构 代理人
主权项
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