发明名称 制造液晶显示面板用掩模板
摘要 本发明涉及一种制造液晶显示面板用的掩模板,其包括多个单元产品掩模图形,并且所述单元产品掩模图形包括开孔,以及所述开孔的孔边缘形成多个非规则直线图形。本发明的掩模板可以在不改变现有的工艺和流程的基础上,有效改善现有工艺中的孔层结构之中的层间跨断问题,从而极大地提高了生产良率,降低了生产成本,提高了生产效率。
申请公布号 CN101566790A 申请公布日期 2009.10.28
申请号 CN200810043278.1 申请日期 2008.04.22
申请人 上海天马微电子有限公司 发明人 汪梅林
分类号 G03F1/14(2006.01)I;G03F1/00(2006.01)I 主分类号 G03F1/14(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 1.一种掩模板,包括多个单元产品掩模图形,用于液晶显示面板制造的光刻工艺,其中所述单元产品掩模图形包括开孔,并且所述开孔的孔边缘形成多个非规则直线图形。
地址 201201上海市浦东新区汇庆路889号5层