用于对准托盘和托盘固定器的装置

摘要

一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括：形成的带有连接孔的垂直定位的托盘，以及具有连接臂以与这些连接孔连接并且防止托盘和托盘固定器弯曲的托盘固定器。该托盘包括能够容纳基板的基板框，并且该托盘固定器与驱动轴连接，以将垂直位置的托盘传送到用于汽相淀积的罩板。多个导引轴的一端可靠接触托盘固定器的后侧，以防止该托盘固定器弯曲。该托盘可以具有磁连接部件，并且该托盘固定器可以具有对应于这些连接部件的支撑部件。这些支撑部件能够在由相应凹槽或突起决定的位置与连接部件磁连接，以对准托盘和托盘固定器。

主权项

1、一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括：能够容纳基板的托盘；多个在该托盘中形成的连接孔，所述多个连接孔之一具有连接突起；托盘固定器；以及多个与该托盘固定器连接并从该托盘固定器伸出的连接臂，所述多个连接臂之一与所述多个连接孔之一对应并具有连接凹槽以啮合该连接突起，其中该托盘与该托盘固定器连接并且能够当该连接凹槽与连接突起啮合时被垂直放置地进行传送。