波长色散型X射线光谱仪

摘要

本发明提供一种能够在短时间内进行详细且精密的分析、并且个体差异较小的波长色散型X射线光谱仪。通过对从试样(S)放出的X射线进行分光并导入到X射线检测器(10)，将从该X射线检测器(10)输出的信号经过前置放大器(14)输入到A/D变换器(30)，在以规定的采样周期进行采样并进行数字化之后，输入到数字处理电路(32)。数字处理电路(32)对被输入的数字信号根据其峰值进行辨别之后，分别独立地进行计数，来制作波峰分布数据。

主权项

1.一种波长色散型X射线光谱仪，利用分光元件对从试样产生的X射线进行分光，并导入到X射线检测器进行检测，上述波长色散型X射线光谱仪的特征在于，具备：a)A/D变换单元，其将上述X射线检测器的输出信号变换为数字信号；以及b)波峰分布数据获取单元，其从上述数字信号中提取脉冲部分，将该脉冲部分按其波峰进行分类，并对各类的脉冲部分独立地进行计数，由此求出波峰分布数据。