位置控制系统、光刻设备及控制可移动物体的位置的方法

摘要

本发明提供一种构造成控制可移动物体的位置的位置控制系统，包括：构造成确定位于可移动物体上的传感器或传感器目标的位置的位置测量系统，构造成通过基于被测量位置对比设定点位置和位置反馈信号来提供误差信号的比较器，用以基于所述误差信号提供控制信号的控制器，用以基于有关所需位置的第一信号提供前馈信号的前馈装置，和构造成基于所述控制信号和所述前馈信号作用在所述可移动物体上的至少一个致动器，其中位置控制系统还包括提供柔量补偿信号的柔量补偿器，其中所述柔量补偿信号从位置测量系统的被测量位置中被减去以获得所述反馈位置信号。本发明还公开了一种光刻设备和一种控制可移动物体的位置的方法。

主权项

1.一种位置控制系统，其构造成控制可移动物体的位置，所述系统包括：位置测量系统，其构造成用传感器和传感器目标测量所述可移动物体的位置，所述传感器配置在所述可移动物体上并且所述传感器目标是基本上静止的，反之亦然，所述位置测量系统构造成输出表示所述可移动物体的所述被测量位置的被测量位置信号；比较器，构造成提供误差信号；控制器，构造成基于所述误差信号提供控制信号；前馈装置，构造成基于有关所需位置的第一信号提供前馈信号；至少一个致动器，构造成基于所述控制信号和所述前馈信号作用于所述可移动物体上，和柔量补偿器，构造成提供柔量补偿信号，其中所述误差信号是基于设定点位置信号、所述被测量位置信号以及所述柔量补偿信号。