微型光谱仪气体分析器

摘要

一种用于确定气体样品中的多种气体的相应浓度或分压的健壮、紧凑的光谱仪装置，所述气体样品具有单个、以及多个、甚至重叠的吸收或出射光谱，这些谱跨越较宽的光谱范围。

主权项

1、一种光谱仪，包括：红外源(S)，用于投射红外光束；气体样品单元(G，102)，设置于所述红外光束的路径中；具有衍射光栅(22)的扫描镜(14，32，46，60，64，68，106)，所述衍射光栅包括多条平行线且位于所述红外光束通过所述气体样品单元之后的路径中；谐振扫描器驱动系统(P，20，28)，适于使所述扫描镜围绕与所述衍射光栅线平行的轴摆动；第一聚焦元件(16，62，66，108)，设置为对由所述衍射光栅衍射的红外光束的至少一个感兴趣的频带进行聚焦；第一探测器(18，D，110)，设置为接收所述至少一个已聚焦的感兴趣的频带；以及第一探测器读取电路，可操作地耦合至所述第一探测器以接收来自所述第一探测器的信号。