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发明名称 NITRIDE SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL INCLUDING Ga, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND SUBSTRATE AND DEVICE USING THE CRYSTAL
摘要
申请公布号 EP1790759(A4) 申请公布日期 2009.10.28
申请号 EP20050768533 申请日期 2005.08.05
申请人 MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION 发明人 KIYOMI, KAZUMASA;NAGAOKA, HIROBUMI;OOTA, HIROTAKA;FUJIMORA, HIROTAKA
分类号 C30B29/40;C23C16/01 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
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