带有运动板的薄膜体声波谐振器

摘要

本发明公开了用于测量目标环境变量(TEV)的装置和方法，其采用带有运动板的薄膜体声波谐振器。该薄膜体声波谐振器(FBAR)包括形成在FBAR晶片中的具有一个表面的声学反射器。第一电极形成在声学反射器的表面上并具有一个表面。压电层形成在第一电极的表面上并具有一个表面。第二电极形成在压电层的表面上。运动板被悬挂在相对于第二电极的表面预定距离的空中，并电容耦合到FBAR。

主权项

1.一种利用带有运动板的薄膜体声波谐振器来检测目标环境变量的改变的方法，该方法包括：在第一晶片上形成包括一个表面和至少一个谐振属性的薄膜体声波谐振器；在空间中悬挂运动板；在所述运动板和所述薄膜体声波谐振器之间形成电容连接；其中在所述运动板和所述薄膜体声波谐振器之间的电容改变导致所述薄膜体声波谐振器的谐振属性发生改变；以及通过采用所述薄膜体声波谐振器和运动板检测所述薄膜体声波谐振器的谐振属性的改变，来检测所述目标环境变量的改变。