用于光刻装置的水平传感器

摘要

一种用于光刻投射装置的水平传感器，该水平传感器包括一个光源、一个第一反射器、一个第二反射器以及一个检测器，该第一反射器定位成使来自光源的光导向晶片表面，该第二反射器定位成将从晶片表面反射的光导向检测器，其中对该第一和第二反射器的参数进行选择，从而产生最小的工艺相关视在表面凹陷，所述参数包括第一和第二反射器的材料、涂层的存在、以及在存在涂层的情况下涂层在第一和第二反射器上的数量、厚度和材料。

主权项

1.一种用于光刻投射装置的水平传感器，该水平传感器包括一个光源、一个第一反射器、一个第二反射器以及一个检测器，该第一反射器定位成使来自光源的光导向晶片表面，该第二反射器定位成将从晶片表面反射的光导向检测器，其中对该第一和第二反射器的参数进行选择，从而产生最小的工艺相关视在表面凹陷，所述参数包括第一和第二反射器的材料、涂层的存在与否、以及在存在涂层的情况下涂层在第一和第二反射器上的数量、厚度和材料。