| 发明名称 | 基板搬送处理装置和基板搬送处理装置的故障对策方法 | ||
| 摘要 | 本发明的基板搬送处理装置设有：对晶圆进行处理的多个处理工位(20～23、40)；搬送晶圆(W)的搬送工位(31～34)；与搬送工位之间交接晶圆的退避工位(30)；以及探测在处理工位中发生的故障，基于该探测信号来集中控制各工位的CPU(60)。在控制部探测到任一处理工位中发生的故障时，将搬送至发生故障的处理工位中的晶圆搬送至退避工位，暂时停止发生故障的处理工位之前的晶圆的搬送，使除此以外的晶圆的搬送、处理继续进行，然后进行发生故障的处理工位之前的晶圆的搬送、处理。 | ||
| 申请公布号 | CN100555595C | 申请公布日期 | 2009.10.28 |
| 申请号 | CN200680002609.6 | 申请日期 | 2006.01.18 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 金子知广;原圭孝;宫田亮 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 曾祥夌;刘宗杰 |
| 主权项 | 1.一种基板搬送处理装置，设有：将多个未处理的被处理基板(W)收容的搬入用箱工位(1)；对被处理基板作预定处理的多个处理工位(20～23、40)；收容处理完的被处理基板的搬出用箱工位(2)；以及在各工位之间搬送被处理基板的搬送工位(31～34)，用所述搬送工位将来自所述搬入用箱工位的被处理基板分散并搬送到各处理工位中，在多个处理工位各自分散地处理被处理基板，还设有：与所述搬送工位之间交接被处理基板的退避工位(30)；以及探测在所述处理工位中发生的故障，并基于探测信号集中控制各工位的控制部(60)，所述控制部探测到任一处理工位中发生的故障时，将搬送至发生故障的处理工位的被处理基板搬送到所述退避工位中，并暂时停止发生故障的处理工位之前的被处理基板的搬送，继续进行除此以外的被处理基板的搬送、处理，然后进行发生故障的处理工位之前的被处理基板的搬送、处理。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||