回收硅片切割液的方法

摘要

本发明涉及一种从硅片切割生产过程产生的废切割液中，回收切割液的精制办法。按照本发明提供的技术方案，所述从硅片切割生产过程产生的废切割液中回收切割液的方法，包括如下步骤：步骤一，分离固体份，在分离设备中去所述除废切割液中的固体份；步骤二，精密过滤，将去除了固体份后的废切割液送入精密过滤器；步骤三，膜分离，利用水泵使经过精密过滤后的废切割液通过分子量在50000-7000000MW的过滤膜；步骤四，离子交换，将经过膜分离后的废切割液通过离子交换设备；步骤五，蒸发浓缩脱水，经过离子交换后的废切割液送入浓缩设备内，形成可回用的切割液。本发明可以有效解决目前切割液回收行业中存在的固液分离困难、回收液纯度不高，回收收率较低等普遍问题。

主权项

1、一种从硅片切割生产过程产生的废切割液中回收切割液的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤一，分离固体份，在分离设备中去除废切割液中的固体份；步骤二，精密过滤，将去除了固体份后的废切割液送入精密过滤器，精密过滤器的过滤精度在1～25μm；以去除废切割液中残留的硅粉和颗粒杂质；步骤三，膜分离，利用水泵使经过精密过滤后的废切割液通过分子量在50000-7000000MW的过滤膜，以去除废切割液中分子量大于50000到7000000的杂质；操作压力在0.1-2.0mpa；步骤四，离子交换，将经过膜分离后的废切割液通过离子交换设备，以吸附掉所述废切割液中的重金属离子、酸根离子以及钙、镁离子；步骤五，蒸发浓缩脱水，经过离子交换后的废切割液送入浓缩设备内，使所述废切割液的含水率下降至0.5％，形成可回用的切割液。