具有纳米管状孔隙的工程绝缘材料的互连结构及其制造方法

摘要

一种用于形成具有纳米管状金属间绝缘材料的互连结构的方法，包括：利用固体绝缘材料构成互连结构，和通过模板印刷和刻蚀工艺形成垂直排列的纳米级孔的规则阵列，从而形成孔阵列，并随后用盖绝缘材料填补孔阵列的顶部。还描述了用于构成多级纳米管状互连结构的方法和装置的变型。

主权项

1.一种互连结构，包括：第一绝缘材料，所述第一绝缘材料中嵌入一组具有顶部和底部的导电通路，并在所述第一绝缘材料的顶表面上支撑一组导电线路；和第二绝缘材料，所述第二绝缘材料设置在所述的一组导电线路之间，所述导电线路具有顶表面、底表面和垂直侧面；所述第二绝缘材料包含规则排列的纳米管状孔，所述纳米管状孔的顶部被一层第三绝缘材料层密封，所述第三绝缘材料层用于保护导电线路的所述顶表面，其中所述纳米管状孔平行于所述导电线路的所述垂直侧面，并从所述互连线路的顶部延伸到所述互连通路的顶表面之下。