具有蚀刻停止层的端面蚀刻脊型激光器

摘要

一种光子器件包括外延结构，该外延结构具有有源区且包括在有源区之上但靠近有源区的湿法蚀刻停止层。通过先干法蚀刻再湿法蚀刻在该外延结构上制造端面蚀刻脊型激光器。干法蚀刻被设计成在到达形成脊所需的深度之前停止。湿法蚀刻完成脊条的形成并在湿法蚀刻停止层处停止。

主权项

1.一种光子器件，包括：衬底；包括所述衬底上的有源层和湿法蚀刻停止层的至少第一外延半导体结构；在所述结构中形成的蚀刻脊条，所述脊条具有在所述停止层处的底部；在所述结构中制造的至少第一蚀刻端面；以及在所述结构上的至少第一电极。