显影液成分调整方法及其显影系统

摘要

一种显影系统，包括一第一显影机台、一第二显影机台、一连通管以及一废液槽。第一显影机台包括一第一显影槽、一第一显影液循环槽、一第一废液管以及一第一废液控制阀，该第一显影槽连通该第一显影液循环槽，该第一废液管连接该第一显影液循环槽，该第一废液控制阀设于该第一废液管之上。第二显影机台包括一第二显影槽、一第二显影液循环槽、一第二废液管以及一第二废液控制阀，该第二显影槽连通该第二显影液循环槽，该第二废液管连接该第二显影液循环槽，该第二废液控制阀设于该第二废液管之上。连通管连通该第一显影液循环槽以及该第二显影液循环槽。废液槽连接该第一废液管以及该第二废液管。

主权项

1.一种显影系统，包括：一第一显影机台，其包括一第一显影槽，用于对一第一基板上的光阻图案进行显影、一第一显影液循环槽、一第一废液管以及一第一废液控制阀，该第一显影槽连通该第一显影液循环槽，该第一废液管连接该第一显影液循环槽，该第一废液控制阀设于该第一废液管之上；一第二显影机台，其包括一第二显影槽，用于对一第二基板上的光阻图案进行显影、一第二显影液循环槽、一第二废液管以及一第二废液控制阀，该第二显影槽连通该第二显影液循环槽，该第二废液管连接该第二显影液循环槽，该第二废液控制阀设于该第二废液管之上；一连通管，连通该第一显影液循环槽以及该第二显影液循环槽；以及一废液槽，连接该第一废液管以及该第二废液管。