发明名称 MICROSCOPE OBSERVATION METHOD, MICROSCOPE, DIFFERENTIATION INTERFERENCE MICROSCOPE, PHASE DIFFERENCE MICROSCOPE, INTERFERENCE MICROSCOPE, IMAGE PROCESSING METHOD, AND IMAGE PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 EP1767923(A4) 申请公布日期 2009.10.28
申请号 EP20050752944 申请日期 2005.06.27
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 OOKI, HIROSHI
分类号 G01N21/27;G01N21/17;G01N21/35;G06T3/00 主分类号 G01N21/27
代理机构 代理人
主权项
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