成膜装置和成膜方法

摘要

本发明提供一种成膜装置和成膜方法，该成膜装置包括：内部被保持为减压空间的处理容器；由以碳为主要成分的材料构成、用于在处理容器内保持基板的基板保持部；配置在处理容器的外侧、用于感应加热基板保持部的线圈；和以覆盖基板保持部、且从处理容器离开的方式配置的绝热部件。上述的减压空间被分离为用于供给成膜气体的成膜气体供给空间，和在基板保持部与处理容器之间被划分形成的绝热空间，绝热空间被供给冷却介质。

主权项

1.一种成膜装置，其特征在于，包括：内部被保持为减压空间的处理容器；向所述处理容器内供给成膜气体的气体供给机构；由以碳为主要成分的材料构成，在所述处理容器内保持基板的基板保持部；配置在所述处理容器的外侧，对所述基板保持部进行感应加热的线圈；和以覆盖所述基板保持部，且从所述处理容器离开的方式配置的绝热部件，所述减压空间被分离为被供给所述成膜气体的成膜气体供给空间、和在所述基板保持部与所述处理容器之间被划分形成的绝热空间，冷却介质被供给到所述绝热空间。