一种场致发射显示器下基板结构的制作方法

摘要

本发明涉及一种场致发射显示器，具体涉及一种场致发射显示器下基板结构的制作方法。先在下基板上制得栅极电极层，再在栅极电极层上印刷整面水溶性绝缘介质层，再在烧结后的水溶性绝缘介质层上印刷整面感光性绝缘介质层，然后在感光性绝缘介质层上印刷整面阴极电极层，再利用菲林图形模型做掩膜，通过光刻法对整面阴极电极层和整面感光性绝缘介质层进行一次性曝光显影，使整面阴极电极层和整面感光性绝缘介质层同时形成图形，利用光刻后阴极电极层作为掩膜，对整面水溶性绝缘介质层进行湿法刻蚀，使水溶性绝缘介质层形成与阴极电极层相同图形。本发明有双绝缘介质层，避免了单一介质层无法有效隔离栅极电极层和阴极电极层的困难。

主权项

1.一种场致发射显示器下基板结构的制作方法，其特征在于：包括以下操作步骤：①先在场致发射显示器的下基板(1)上制得包含有多个平行条状栅极电极组成的栅极电极层(2)；②再在栅极电极层(2)上印刷整面水溶性绝缘介质层(3)后，对水溶性绝缘介质层(3)进行烘干后高温烧结；③在烧结后的水溶性绝缘介质层(3)上印刷整面感光性绝缘介质层(4)，烘干；④然后在感光性绝缘介质层(4)上印刷整面阴极电极层(5)，烘干；所述的阴极电极层(5)材料为感光性银浆；⑤再利用阴极电极层(5)的菲林图形模型做掩膜，通过光刻法对整面阴极电极层(5)和整面感光性绝缘介质层(4)进行一次性曝光显影，使整面阴极电极层(5)和整面感光性绝缘介质层(4)同时形成由多个平行条状阴极电极组成的阴极电极层(5)和由多个平行条状感光性绝缘介质组成的感光性绝缘介质层(4)；所述感光性绝缘介质层(4)图形与阴极电极层(5)图形相同，且每个条状阴极电极层(5)重叠在每个条状感光性绝缘介质层(4)之上；所述光刻后的阴极电极层(5)与栅极电极层(2)垂直交叉；⑥利用步骤⑤得到的光刻后阴极电极层(5)作为掩膜，对整面水溶性绝缘介质层(3)进行湿法刻蚀，使水溶性绝缘介质层(3)形成与阴极电极层(5)相同图形的水溶性绝缘介质层(3)；⑦最后对阴极电极层(5)和感光性绝缘介质层(4)进行一次性烧结。