发明名称 |
定位工具用X-Y定位的校准方法及具有这种定位工具的装置 |
摘要 |
本发明涉及一种定位工具用X-Y定位的校准方法及具有这种定位工具的装置。本发明涉及一种定位工具(1)用x-y定位的校准方法、一种将组件(3)定位在基板(4)上的方法、一种具有定位工具(1)及图像辨识系统(2)的装置、以及一种校准以图像辨识系统(2)为基础的定位工具(1)用x-y定位的校准装置(100)。定位工具(1)的x-y定位是以图像辨识系统(2)的坐标为准被校准,在这个校准模式中,步骤(i)是将定位工具(1)定位在一个网点(24)上,步骤(ii)是检测网点(24)的工具坐标,步骤(iii)是以图像辨识系统(2)检测一个设置在相对于定位工具(1)的一个规定位置的基准记号(14),步骤(iv)是以图像辨识系统(2)为准求出基准记号(14)的坐标,步骤(v)是对相同或其它网点(24)重复进行步骤(i)至步骤(iv),步骤(vi)是使网点(24)的工具坐标及在图像辨识系统(2)中的坐标彼此产生关联及/或彼此平衡。 |
申请公布号 |
CN101568891A |
申请公布日期 |
2009.10.28 |
申请号 |
CN200680056754.2 |
申请日期 |
2006.12.22 |
申请人 |
K&S芯片键合设备有限公司 |
发明人 |
安德烈斯·马特尔;尔邦·恩斯特;约翰尼斯·舒斯特 |
分类号 |
G05B19/401(2006.01)I |
主分类号 |
G05B19/401(2006.01)I |
代理机构 |
北京三幸商标专利事务所 |
代理人 |
刘激扬 |
主权项 |
1.一种定位工具(1)用x-y定位的校准方法,定位工具(1)可以定位在一个工作面(23)的上方,并在定位工具(1)的控制系统内设有工具坐标,同时定位工具(1)借助一个图像辨识系统(2)被引导,这个图像辨识系统(2)在一个运转模式中的作用是检测工作面(23)上的目标记号(6),这种方法的特征为:以图像辨识系统的坐标为准校准定位工具(1)的x-y定位,其校准模式具有以下的步骤:(i)将定位工具(1)定位在一个网点(24)上;(ii)检测网点(24)的工具坐标;(iii)以图像辨识系统(2)检测一个设置在相对于定位工具(1)的一个规定位置的基准记号(14);(iv)以图像辨识系统(2)为准求出基准记号(14)的坐标;(v)对相同或其它网点(24)重复进行步骤(i)至步骤(iv);(vi)使网点(24)的工具坐标及在图像辨识系统(2)中的坐标彼此产生关联及/或彼此平衡。 |
地址 |
瑞士伯格 |